光學(xué)檢測(cè)儀和激光干涉儀
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Bysco 100干涉儀搭配擴(kuò)束器可將測(cè)試口徑擴(kuò)大到150mm,有效拓展了測(cè)量范圍,增加了應(yīng)用場(chǎng)景,可對(duì)平晶、透鏡面形精度、均勻度和平行度的測(cè)量以及激光棒的測(cè)量。
儀器規(guī)格參數(shù)表:
類(lèi)型 |
菲索型干涉儀 |
光源 |
氦氖激光器λ=632.8nm/波長(zhǎng)調(diào)諧激光器 |
測(cè)量口徑 |
φ=150mm |
移相方式 |
標(biāo)配PZT移相、可選波長(zhǎng)調(diào)諧、偏振移相 |
相機(jī)分辨率 |
1K、2K、4K可選 |
灰度等級(jí) |
8Bit、12Bit |
測(cè)量精度 |
平面PV優(yōu)于λ/20,球面PV優(yōu)于λ/15 |
RMS重復(fù)性 |
<λ/5000 |
有效顯示倍率 |
1-6倍 |
可選附件 |
移相式數(shù)據(jù)分析處理軟件、光學(xué)氣浮平臺(tái)、五維調(diào)節(jié)架及三爪、標(biāo)準(zhǔn)鏡頭 |