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如何解讀ISO 10110-5

一、什么是ISO 10110-5

ISO 10110-5全名為《光學和光學儀器—光學元件和系統(tǒng)的圖形制備—第5部分:表面形狀公差》，是ISO 10110系列的一部分。該部分在用于制造和檢驗的技術圖紙中規(guī)定了光學元件和光學系統(tǒng)的設計和功能要求，規(guī)定了指示表面形狀偏差公差的規(guī)則，適用于平面、球面、非球面、圓形和非圓形圓柱、復曲面以及其他非球面的表面—球形形狀，如通常描述的表面。它不適用于衍射表面、菲涅耳表面和微光學表面。

二、ISO 10110-5指標

1、3/A(B/C)：

ISO形式SAG、IRR和RSI。國家標準面型偏差包括三項：為光圈數(shù)，為像散偏差，為局部偏差。ISO 10110-5面型偏差為如下所示的三種形式之一：3/A(B/C)，3/A(B/C)RMSx<D（此處x代表字母t，i或a），3/-RMSx<D（此處x代表字母t，i或a），式中編號“3”是面型偏差的代碼，A為弧矢差（對應Zygo設備測試中的SAG），B為不規(guī)則度（對應Zygo設備測試中的IRR），C為旋轉對稱不規(guī)則度（對應Zygo設備測試中的RSI），RMSt為均方根總偏差，RMSi為均方根不規(guī)則度，RMSa為均方根不對稱性，短劃線（-）表示沒有明確給出該項偏差的要求，如3/-(1/0.5)。

2、SAG：

弧矢差，是被測光學表面的曲率半徑與參考表面的曲率半徑之差。當我們計算其值時，可能會遇到兩種情況：一種是根據(jù)弧矢差計算被測零件的半徑誤差，另一種是根據(jù)測量半徑計算弧矢差。前者主要是用來計算被測零件的半徑誤差，當我們計算SAG值時主要用后者，此時我們就能夠根據(jù)設計半徑、測量半徑以及零件直徑的值來計算出SAG值。

3、IRR：

不規(guī)則度，它是標稱球面（檢測面）偏離球面的量度，是指在去除矢狀面誤差后仍然存在的表面形狀誤差的公差。

4、RSI：

旋轉對稱不規(guī)則度，若表面是旋轉對稱的，但卻不是想要的形狀，即存在旋轉對稱不規(guī)則度，它是在減去最佳擬合球后，對表面形式誤差的旋轉對稱分量的公差，是近似非球面表面（AAS）的PV。

5、RMSt：

均方根總偏差，它是被測光學表面與標稱理論球面之間的均方根偏差。

6、RMSi：

均方根不規(guī)則度，它是被測光學表面與擬合球面之間的均方根偏差。

7、RMSa：

均方根不對稱性，它是被測光學表面與擬合非球面之間的均方根偏差。

三、競爭優(yōu)勢

目前本公司主要有兩款干涉測量軟件，分別是相移干涉測量軟件PhaseSight和SwordPro移相干涉測試軟件。當我們對一個元件進行測量時，通過對數(shù)據(jù)進行分析后，兩款測試軟件均能得到ISO 10110-5的指標數(shù)據(jù)，同Zygo相比，其軟件操作簡單，結果顯示更加直接，同時，它們的計算結果均能精確到小數(shù)點后兩位且與Zygo計算結果一致。

如何解讀ISO 10110-5

一、什么是ISO 10110-5

二、ISO 10110-5指標

1、3/A(B/C)：

2、SAG：

3、IRR：

4、RSI：

5、RMSt：

6、RMSi：

7、RMSa：

三、競爭優(yōu)勢