光學(xué)檢測(cè)儀和激光干涉儀
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通常人們會(huì)使用冪級(jí)數(shù)展開式的形式來描述光學(xué)系統(tǒng)的像差。由于澤尼克多項(xiàng)式和光學(xué)檢測(cè)中觀測(cè)到的像差多項(xiàng)式的形式是一致的,因而它常常被用來描述波前特性。
在極坐標(biāo)系統(tǒng)中,Zernike多項(xiàng)式表示為:
上式中為僅與徑向有關(guān)的項(xiàng),為僅與幅角有關(guān)的項(xiàng),n為多項(xiàng)式的階數(shù),m為頻數(shù)。ρ為圓上的半徑,取值范圍[0,1],θ為正弦分量的頻率,取值范圍為[0,2Π]。l為與角度相關(guān)的參數(shù),n與l奇偶性相同,n≥| l |,(n-l)始終為偶數(shù)。
由于在一般被測(cè)光學(xué)器件或光學(xué)系統(tǒng)中都具有圓形光瞳或圓形通光孔徑,經(jīng)過歸一化后正好為單位圓,因此Zernike多項(xiàng)式具有的這種單位圓上正交性恰好滿足圓形光瞳的特點(diǎn)。需要說明的是,Zernike多項(xiàng)式在圓內(nèi)離散點(diǎn)處不正交,在實(shí)際的測(cè)量過程中所遇到的多是離散點(diǎn)的情形因此要對(duì)Zernik多項(xiàng)式進(jìn)行處理。
當(dāng)函數(shù)(波面)繞圓心旋轉(zhuǎn)時(shí),多項(xiàng)式的數(shù)學(xué)形式保持不變。
(三)與像差的對(duì)應(yīng)關(guān)系:
Zernike多項(xiàng)式與初級(jí)像差有著一定的對(duì)應(yīng)關(guān)系并且與光學(xué)設(shè)計(jì)中慣用的 Seidel像差函數(shù)很容易建立起聯(lián)系這也是光學(xué)像差分析中常用到Zernike多項(xiàng)式的原因。
Zernike各項(xiàng)系數(shù)與像差的關(guān)系:
Zernike多項(xiàng)式系數(shù)與Seidel像差系數(shù)之間的轉(zhuǎn)換關(guān)系:
其中,式中的mag表示大小,angle表示角度(方向),Tilt、Focus、Asti、Coma和Sphe分別表示Seidel像差里的傾斜、離焦、初級(jí)像散、初級(jí)彗差和初級(jí)球差,Z2~Z9為Zernike Fringe多項(xiàng)式系數(shù)。
三、Zernike多項(xiàng)式各項(xiàng)及部分波面示意圖
如上圖所示為多項(xiàng)式的各項(xiàng),將各項(xiàng)乘以相應(yīng)的系數(shù),再相加,就得到一個(gè)三維面形數(shù)據(jù),不同項(xiàng)有不同的意義。根據(jù)不同的影響,擬合出各項(xiàng)系數(shù),便可得到所求的面形。
Zernike多項(xiàng)式部分項(xiàng)的波面: