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一、前言

  激光干涉儀大多用于測量光學(xué)元件或其他精密器件的測量，而為了應(yīng)對不同環(huán)境和應(yīng)用的需求，精密光學(xué)加工也越來越：“內(nèi)卷”，因此，對于精密元件的面型測量也出現(xiàn)了很多新技術(shù)。其中動態(tài)干涉儀首當(dāng)其沖。

 動態(tài)干涉儀使用獨有的瞬時相位傳感器，即使有振動和環(huán)境噪音，仍能極其精確地測量表面形狀。

二、“經(jīng)久不衰”的移相式激光干涉儀

 經(jīng)典移相式菲索激光干涉儀，有一個移相采樣過程。通過壓電陶瓷推動標(biāo)準(zhǔn)鏡來完成相位移動，即為“移相”。通過算法對CCD采集的不同相位的條紋光強圖計算得出相位（三維高度）圖。

 作為測量相位的經(jīng)典方式，自然有著不可替代的方面，移相式激光干涉擁有目前最高的采樣精度以及分辨率。

 而擁有最高精度的同時也對測量環(huán)境提出了很高的要求：

（一）環(huán)境的影響

 作為移相干涉束的最大限制，對于外界環(huán)境的振動以及空氣湍流極為敏感，因為移相干涉測量的數(shù)據(jù)幀是按時間順序獲取，間隔超過數(shù)百毫秒。在這段采集時間中，振動以及空氣湍流會導(dǎo)致數(shù)據(jù)發(fā)生不可預(yù)測的相移，導(dǎo)致測量精度降低，在環(huán)境惡劣的情況下，甚至無法測量。

（二）被測件的不穩(wěn)定

 在長時間的采集時間中，被測件會在卡扣不緊的情況下，發(fā)生微小的移動，對相位的移動造成影響，最終導(dǎo)致測量結(jié)果產(chǎn)生誤差。

三、“出陳易新”的動態(tài)干涉儀

 對于一些在傳統(tǒng)意義上難以或不可能使用時相移位儀器的測量，動態(tài)干涉儀可以輕松的應(yīng)對。動態(tài)系統(tǒng)可以在沒有光學(xué)氣浮平臺的車間里使用，或者在具有嘈雜的泵和空氣處理機(jī)的潔凈室中，仍然能夠完成精確測量。

       動態(tài)干涉測量，嚴(yán)格意義上是指多次瞬態(tài)測量的集合，以反映樣品的實時變化。所謂瞬態(tài)，則是采用高速微秒級快門，只取一幀干涉條紋圖，在干涉腔的狀態(tài)定格在一瞬間，去除環(huán)境擾動以及被測件不穩(wěn)定帶來的影響。

 當(dāng)前市場上，主要有兩種瞬態(tài)采樣及分析方式，基于傾斜條紋載波法，以及偏振移相方式。這兩種方式都可以實現(xiàn)，單幀干涉條紋圖的相位解析；都采用了“空間”換“時間”的方法，將經(jīng)典移相過程從時域上轉(zhuǎn)變到了空間域上。

       英特飛的動態(tài)干涉儀采用偏振移相的瞬態(tài)采樣方法?；谄窆獾母缮嬖懋a(chǎn)生干涉圖像，利用微偏振陣列對捕獲的干涉圖像進(jìn)行空間編碼，有0、90、180和270度四種相位偏移，從而實現(xiàn)單幀定量相位測量。    

四、競爭優(yōu)勢

（一）大功率激光器

 高功率的激光器在干涉儀中可以使光路清晰可見，能夠給對點帶來極大的方便，即使測量光路中具有多個反射鏡，也能夠表現(xiàn)出極佳的光斑，以提高條紋對比度。我們的動態(tài)干涉儀激光功率動態(tài)范圍大，最低可至5uw，最高可至33mw。

光斑對比圖

（二）可變倍動態(tài)干涉儀

 變倍系統(tǒng)，可以對干涉成像精準(zhǔn)實時的變倍，使得干涉圖像具有大視野、高分辨率，我們的動態(tài)干涉儀加裝了變倍系統(tǒng)（1X-1.6X），可以在一定范圍內(nèi)調(diào)整鏡頭的焦距，擴(kuò)大視場，提高分辨率，滿足高精度定位檢測的條件。