光學檢測儀和激光干涉儀
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衍射極限(diffraction limit)是指一個理想物點經(jīng)光學系統(tǒng)成像,由于衍射的限制,不可能得到理想像點,而是得到一個夫瑯禾費衍射像。因為一般光學系統(tǒng)的口徑都是圓形,夫朗和費衍射像就是所謂的艾里斑。這樣每個物點的像就是一個彌散斑,兩個彌散斑靠近后就不好區(qū)分,這樣就限制了系統(tǒng)的分辨率,這個斑越大,分辨率越低。
衍射極限限制了系統(tǒng)的分辨率。對于一個系統(tǒng)來講,其衍射極限是某一個定值,是由于光的衍射造成的物理光學上的限制,跟成像系統(tǒng)的像差沒有關系,無像差系統(tǒng)其衍射極限依然存在。
描述衍射極限的公式是:
其中,θ是角分辨率,λ是波長,D是光圈直徑。當θ很小時,sinθ約等于θ,約等于d/f其中d是最小分辨尺寸,f是焦距。
可以推導出:
對于理想的光學系統(tǒng),物點對應完美的像點。但是,無論透鏡性能校正得多好,實際光波都會從通光孔徑的邊緣處衍射,從而導致像點模糊。這就是衍射模糊或艾里斑,其強度分布和外形如下圖所示。
艾里斑的強度分布和外形
因為模糊直徑和波長成正比,所以衍射效應可能經(jīng)常成為紅外系統(tǒng)的限制因素。如果透鏡的通光孔徑為圓形,那么像點有84%的能量分布于中心亮斑,即艾里圖案中第一個暗環(huán)包圍的面積。中心亮斑的直徑根據(jù)下式計算:
對于工作波長為10 μm、f/#等于2的長波紅外系統(tǒng),中心亮斑的直徑為48.8 μm。在通過減小焦平面中的像素來提高系統(tǒng)分辨率時,也要注意波長的限制。雖然第二個暗環(huán)直徑為第一個暗環(huán)的兩倍,但兩個暗環(huán)之間的能量只占總能量的7%。由于中心亮斑外的能量非常分散,相鄰探測元件之間可能形成串擾。
當兩個點的圖像間隔足夠大,可以被清晰地識別成兩個點,此時我們認為它們是可分辨的,并且經(jīng)常采用艾里圖案第一個暗環(huán)的半徑作為可分辨的最小間隔。這就是瑞利判據(jù)。
瑞利分辨率判據(jù)
這一現(xiàn)象用傅立葉分析理論可解釋為:攜帶物體信息的入射光波的傅立葉分量中,較大的橫向分量對應著高頻成分,代表著物體的細節(jié)部分;但含高頻橫向分量的光波因滿足公式:
其中kx、ky 為波矢量K在x和y方向分量,ω為光波角頻率、c為光速,傳播方向為z軸。從而而成為倏逝波,倏逝波在傳播過程中因振幅呈指數(shù)衰減而無法到達像面,不能參與成像,造成物體細節(jié)部分的丟失,因而普通透鏡的成像總是有缺陷的。