光學(xué)檢測儀和激光干涉儀
服務(wù)熱線:025-84433141
朗奇檢驗法是評價和測量一個光學(xué)系統(tǒng)像差的最簡單、最有效的方法之一。該方法的步驟是將低頻衍射光柵(小于50線對/mm)置于被檢驗透鏡焦點附近,由產(chǎn)生的不同衍射級次之間的干涉條紋形狀來評定透鏡的質(zhì)量。朗奇檢驗的特點是簡單,快速,成本低,不受被檢驗元件口徑限制。光學(xué)界將這種光柵檢驗方法命名為“朗奇檢驗”,這種光柵成為“朗奇光柵”,所得到的檢驗圖形稱為“朗奇圖形”。以下介紹其幾何原理。
二、幾何原理
朗奇檢驗法實際上是直接測量橫向像差TA的方法,如圖1所示。其何原理是把條紋看做是光柵的陰影。被檢光學(xué)系統(tǒng)出射光瞳上的波像差為:
將上式改為通用形式,可得:
式中,r為出射光瞳或者被測試的表面到朗奇光柵的距離。
如果光柵的離焦量比較小,則該距離可以近似地表示為波前的曲率半徑。因此,假定一個朗奇光柵的刻線間距為d,則通??梢允剑?/span>3)表示第m個條紋的點(x,y):
其中,假定朗奇光柵刻線與y軸之間的夾角為φ,如圖2示。
圖1 朗奇檢驗法
圖2 波前和光柵刻線的方向關(guān)系
1.離焦:
圖3 帶離焦的朗奇圖樣:a)焦點外部,b)焦點上,c)焦點內(nèi)部
2.球差:
圖4 帶球差的朗奇圖 a)近軸焦點 b)近軸和邊緣焦點之間
c)邊緣焦點 d)焦點之外
3.彗差:
圖5 具有彗差的朗奇圖