末成年美女黄网站色应用大全_欧美动漫清纯亚洲另类_影音先锋在线资源在线观看_中文字幕第一页日韩_亚洲AV无码乱码国产精品一二三区_免费自拍亚洲国产_中文字幕在线播放2018视频_人妻精品无码视频免费看_影视免费精品日本_集结电子游艺

一、前言

對于以數(shù)字波面干涉儀為主的現(xiàn)代檢測技術(shù)來說，可以獲得波面直觀的三維形貌，為保證測試數(shù)據(jù)直觀的可比性和唯一性，常見的是用波面的簡單數(shù)字指標(biāo)峰谷值(PV)和均方根值(RMS)來表示。

二、PV值及PV_r值

使用反射波前或透射波前表示實(shí)際被檢測的表面面形時(shí)，該波前的最高（前）點(diǎn)到最低（后）點(diǎn)的間距表示為一個(gè)波前的峰谷值（PV）。而此時(shí)波前的最佳擬合球面的矢高（或稱波高）值被定義為離焦量（Power）。當(dāng)最佳擬合球面為會聚波前時(shí)，離焦量為正；當(dāng)最佳擬合球面為發(fā)散波前時(shí)，離焦量為負(fù)。消離焦后峰谷值表示為pv，計(jì)算機(jī)或軟件說明書通常縮寫為PWR。圖1表示消離焦前后的峰谷值。

圖1消離焦前后峰谷值：（a）消離焦前，（b）消離焦后

pv與PV的關(guān)系如下：

PV_r表示為穩(wěn)定性峰谷值，由Zygo公司所提出。其相對于PV的主要優(yōu)勢時(shí)提供了獨(dú)立于儀器分辨率和測試人員的測量結(jié)果的可重復(fù)性。進(jìn)行測量時(shí)，用Zernike多項(xiàng)式擬合圓形光圈，其PV_r定義如下:

上式第一項(xiàng)為澤尼克36項(xiàng)多項(xiàng)式擬合成波面的PV值，第二項(xiàng)為移去36項(xiàng)后的剩余均方根值的K倍（K一般為3-6）。K的選擇應(yīng)滿足：①PV_r應(yīng)比PV小因?yàn)橛袝r(shí)大的空間噪聲在不影響PV的情況下會產(chǎn)生一個(gè)較大的剩余均方根值；②若光學(xué)元件剩余均方根值極小時(shí)，K值應(yīng)選擇6，否則，可能出現(xiàn)在PV_r約束范圍之外的不能接受的較大數(shù)據(jù)。

三、RMS值

均方根值（RMS）定義為被檢測波前(或鏡面)范圍內(nèi)與最佳匹配的參考波前的光程差平方和的平均值的開方。這是全口徑波前(或鏡面)上平均誤差的表征，避免了由一、兩點(diǎn)數(shù)值就判定整個(gè)鏡面優(yōu)劣的片面性。公式如下

RMS更能全面的反映波前的質(zhì)量，如圖2表示兩個(gè)波前具有相同的峰谷光程差，但右側(cè)的波面均方根波前誤差更小些。這是因?yàn)椴ㄇ罢`差僅處于口徑的邊緣，大部分區(qū)域的波前接近完美。

圖2 PV值相同、RMS值完全不同的兩個(gè)波前

此外，鏡面上的不潔凈點(diǎn)、劃痕(在缺陷要求之內(nèi))或千涉檢驗(yàn)時(shí)的被檢驗(yàn)鏡的邊緣效應(yīng)(應(yīng)采取修剪邊緣虛假部分的方式)，都將大大影響PV值，但其本身質(zhì)量卻有可能是一個(gè)好的鏡面。所以，用RMS值評價(jià)鏡面較之PV值更合理、更科學(xué)、更客觀。