光學(xué)檢測(cè)儀和激光干涉儀
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客觀事物或現(xiàn)象之間有兩種數(shù)量關(guān)系,分別是函數(shù)關(guān)系和相關(guān)關(guān)系。當(dāng)單個(gè)或多個(gè)變量取固定值時(shí),另一個(gè)變量有確定的值與之對(duì)應(yīng),這種關(guān)系為函數(shù)關(guān)系,可用y=f(x)表示。當(dāng)事物或現(xiàn)象之間在數(shù)量上的變化關(guān)系不能直接做出因果關(guān)系的解釋時(shí),若一個(gè)或幾個(gè)相互間有聯(lián)系的變量取一定的數(shù)值后,在未知的條件下,與之對(duì)應(yīng)的另一個(gè)變量同樣按照特定的一種規(guī)律在某個(gè)范圍內(nèi)改變,則稱(chēng)這種關(guān)系為相關(guān)關(guān)系。
相關(guān)性分析主要是指對(duì)兩個(gè)以上存在相關(guān)關(guān)系的變量作定量分析,進(jìn)而判斷兩個(gè)變量之間的關(guān)聯(lián)程度的方法。如果僅通過(guò)傳統(tǒng)的表面粗糙度參數(shù)來(lái)描述工件的表面形貌,不能很好地表征和描述具有三維和空間特征的表面紋理,因此通過(guò)相關(guān)性分析進(jìn)行衡量。
自相關(guān)函數(shù)(如上圖所示)表示同一個(gè)輪廓波形相差一定位移時(shí)的相似程度。對(duì)它們進(jìn)行自相關(guān)函數(shù)分析即可反映出表面輪廓的周期性特征,檢測(cè)出混于輪廓曲線(xiàn)中的周期性成分。
自相關(guān)函數(shù)的計(jì)算公式為:
其中,t為沿表面截面輪廓的距離;τ表示橫向位移,L表示評(píng)定長(zhǎng)度。
自相關(guān)函數(shù)的數(shù)字化估算采用直接計(jì)算法,當(dāng)采樣長(zhǎng)度間距取值為時(shí),結(jié)合評(píng)定長(zhǎng)度L可知,樣本容量N=L/h;此處,令橫向位移數(shù)為r,則橫向位移τ=rh。設(shè)m為r的最大值,則橫向位移的離散數(shù)字序列{Yn}(n=0,1,2,…N-1)的自相關(guān)函數(shù)離散形式ACF(rh)的估計(jì)為:
其中,Yn、Yn+r表示第n處和第n+r處表面輪廓的高度。
如下圖所示為某一零件的剖面輪廓,具有一定的周期性,因此在自相關(guān)函數(shù)圖像上可以觀察到一系列極大值,它們的相對(duì)高度相對(duì)于中心葉的高度是剖面的周期性的特征。相反的,如果自相關(guān)函數(shù)圖像上只有一個(gè)中心峰值,則該輪廓不具有周期性。
互相關(guān)函數(shù)(如下圖所示)用于表面形貌的識(shí)別,互相關(guān)函數(shù)在表面形貌上的應(yīng)用是用來(lái)描述一個(gè)沒(méi)有位移的和另一個(gè)有橫向位移的兩個(gè)表面的截面輪廓之間的相似性的度量尺度,即表示兩個(gè)不同輪廓波形相差一定位移時(shí)的相似程度。
互相關(guān)函數(shù)的表達(dá)式為:
互相關(guān)函數(shù)Rxy(τ)表達(dá)了在位移上相差為τ的兩個(gè)截面輪廓之間的近似程度,該函數(shù)通常不在τ=0處取峰值其峰值偏離原點(diǎn)的位置反映了兩個(gè)截面輪廓相互間有多大位移后二者相關(guān)程度最高,即相似程度最大。
互相關(guān)與自相關(guān)的數(shù)字化估算表達(dá)式類(lèi)似。當(dāng)橫向位移數(shù)位r,m為r中的最大值時(shí),互相關(guān)函數(shù)的數(shù)字化估計(jì)公式為:
如下圖所示為一組具有相對(duì)位移的剖面輪廓,位移τ大小為-0.12mm。同時(shí)在兩個(gè)輪廓的自相關(guān)函數(shù)圖像上原點(diǎn)左側(cè)0.12mm處產(chǎn)生了一個(gè)峰值,反映了第二個(gè)截面輪廓向負(fù)方向產(chǎn)生0.12mm位移后兩者相關(guān)程度最高,即相似程度最大。
相關(guān)本身并不是一種確定性的關(guān)系,相關(guān)函數(shù)一般只能描述兩輪廓截面的相似性,而相關(guān)程度則通常由相關(guān)系數(shù)值來(lái)表述。相關(guān)系數(shù)不是等單位量度,而是一個(gè)既沒(méi)有單位名稱(chēng),也不是相關(guān)的百分?jǐn)?shù)的一個(gè)比率。一般情況下,可以取小數(shù)點(diǎn)后兩位數(shù)來(lái)表示相關(guān)系數(shù),其值前面的正負(fù)號(hào)只表示兩變量的關(guān)聯(lián)方向,絕對(duì)值則反映二者相關(guān)的程度。
其中,互相關(guān)系數(shù)能夠反映兩個(gè)輪廓截面的相關(guān)性。用付表示互相關(guān)函數(shù)值,Rxx(0)和Ryy(0)則表示在τ=0對(duì)兩個(gè)不同的表面輪廓的值,則互相關(guān)系數(shù)可由如下計(jì)算表達(dá)式得到:
對(duì)于給定的τ值,互相關(guān)系數(shù)一般符合如下條件:|ρxy(τ)|≤1。當(dāng)|ρxy(τ)|=0時(shí),x(t)和y(t)代表的表面輪廓波形之間完全無(wú)關(guān);|ρxy(τ)|=1則表示,x(t)和y(t)代表的表面輪廓波形是理想的線(xiàn)性相關(guān);|ρxy(τ)|越接近1,兩個(gè)輪廓曲線(xiàn)的相關(guān)程度越高。