光學(xué)檢測(cè)儀和激光干涉儀
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白光輪廓儀具有測(cè)量范圍大、精度高、實(shí)時(shí)性等優(yōu)勢(shì),可對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平整度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。
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