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        PhaseOne移相干涉儀測(cè)試軟件包含了移相器件的通訊與控制、多幅干涉圖像采集、相位復(fù)原、相位解包、波面數(shù)字指標(biāo)提取、波面二維等值圖與三維立體圖的顯示等一系列過(guò)程。

    測(cè)試參數(shù)包括峰谷值PV、標(biāo)準(zhǔn)方差RMS、波前梯度均方根GRMS、功率譜密度PSD、Zernike多項(xiàng)式系數(shù)，Seidel像差系數(shù)、點(diǎn)列圖、點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)PSF、調(diào)制傳遞函數(shù)MTF等。