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光學(xué)檢測(cè)儀和激光干涉儀

近紅外大口徑(600mm)相移平面干涉儀


“近紅外大口徑相移平面干涉儀”是一臺(tái)光、機(jī)、電、算相結(jié)合，融硬、軟件于一體的高精度、智能化、多功能、實(shí)時(shí)處理的大型測(cè)試儀器。

光機(jī)型干涉儀采用菲索型，光源為可調(diào)節(jié)近紅外激光器。干涉圖由近紅外CCD接收，在監(jiān)視器上實(shí)時(shí)顯示，同時(shí)輸入到圖像捕獲器轉(zhuǎn)化成8bit的數(shù)字干涉圖，工計(jì)算機(jī)處理。

儀器配有下列軟件包：（一）相移干涉技術(shù)復(fù)原波面軟件包，（二）Zernike多項(xiàng)式分析軟件包，（三）波面分析與評(píng)價(jià)軟件，（四）繪圖和列表輸出軟件包。還配有數(shù)字濾波分析（低通、帶通、高通）、PSD等特性參數(shù)計(jì)算、Seidel像差分析功能軟件包。


儀器規(guī)格參數(shù)表：


光源

可調(diào)諧半導(dǎo)體激光器λ=1055nm

類型

菲索型干涉儀

倍率

1X、2X、3X獨(dú)立變倍，或1X-6X連續(xù)變倍

精度

PV優(yōu)于λ/15（λ=1055nm）

測(cè)試重復(fù)性

1nm（1σ）

測(cè)試參數(shù)

峰谷值PV/標(biāo)準(zhǔn)方差RMS、波前梯度均方根GRMS、功率譜密度PSD、Zernike多項(xiàng)式系數(shù)、Seidel像差系數(shù)、點(diǎn)列圖、點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)PSF、調(diào)制傳遞函數(shù)MTF等







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